啟動(dòng)極年夜范圍集成電路制造配備與成套工藝專項(xiàng) ，觀冠熱光刻機(jī)是此中的主要研究?jī)?nèi)容之一  。正在讀博的馬曉燠 ，觀冠熱負(fù)擔(dān)了光刻機(jī)鏡頭檢測(cè)設(shè)備的技能攻關(guān)使命，這是一些謹(jǐn)防死守的重點(diǎn)范疇